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產品中心
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IKS-OPT2700電子束蒸發光學鍍膜機


  設備用途:大面積電子槍蒸發光電膜、光學膜和防指紋膜。

  愛科斯的IKS-OPT2700蒸發鍍膜機為實現大量快速生產大面積光學膜鍍膜和單層/多層表面改性膜而設計,本機為立式單腔體鍍膜機,是一種基于電子槍蒸發的多層光學薄膜鍍膜系統。本設備的主要產品蒸發沉積多層光學介質膜和防指紋膜等,例如,可見光彩色膜、鋁反射膜、AF防指紋膜、低熔點有機物膜、可見光分光膜、可見光抗反射膜等,也可以為特定的簡單光學特性膜系進行調試生產。

  設備特點

  1. 產品設計,由完美愛科斯技術與產品性能的無縫對接整合,創造可靠、穩 定、安全、智能化鍍膜系統!

  2. 真空獲得,重新優化設計的真空獲得系統,滿足快捷平穩真空環境!

  3. 蒸發源和離子源,合理的布局和高品質的加工技術,調試技術,實現工藝 進程自動調節,電子束創新結構與精確速率保障材料沉積更精確、穩定!

  4.自動運行控制系統,全新開發精確穩定系統!設置簡單,操作簡便!

  設備簡述

  IKS-OPT2700是專為大面積光學薄膜鍍膜而設計的電子束蒸發鍍膜機。鍍膜機系統由真空室、真空泵、真空檢測與控制、襯底加熱系統、電子束蒸發系統、離子源輔助沉積系統、電阻蒸發系統、膜厚監測系統、工作氣體體積流量控制系統、工件旋轉系統、PLC控制的自動鍍膜等組成。

  蒸發材料常用稀有金屬,如氟化釔、氟化鐠、鍺、硫化鋅、氟化鎂、二氧化鈦、二氧化硅、氧化鋯、鈷、鎵、硒等金屬。銅、鉬、硅、鍺等金屬是反射器光學材料中常用的材料。

  可涂裝可見光彩色膜、鋁反射膜、AF指紋膜、低熔點有機膜、可見光分光膜、可見光防反射膜等

  設備參數

爐體尺寸

Ф2700×H1670

工件架

φ2650*H420mm

真空度

極限真空:6×10-4Pa(24小時空載,不加熱)

重量

8000kg,地板承重1000kg/m2

漏率

4×10-3Pa×L/S(氦撿漏)

溫度

室溫-250℃,溫度均勻性±5%

工作真空

6*10-3Pa(自動工藝啟動)

供電

三相電, 380V,50Hz,60-100KW

低真空

10 分鐘10Pa

水冷

腔體流量大于4000l/h,泵組流量大于1800l/h 冷凍機流量大于1600l/h

高真空

6 分鐘8×10-3Pa

溫水

蒸發源1800l/h,35-60

真空測量

全程監控,實時取點

占地

L6×w5.5×H3.5m

應用

眼鏡、反光鏡、手機背板、防護罩、光通訊、光學顯示等

 

  應用



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